Halvledare CNC-bearbetade delar
Vi tillverkar specialanpassathalvledar CNC-bearbetade delarfrån kundritningar och CAD-filer, inklusivevakuumkammarkomponenter, gasdistributionsplattor och beslag, waferhanterings- och klämdelar, pump- och ventilkomponenter, RF-delar, kylplattor, kylflänsar och processkitkomponenter. Våra CNC-svarvning, fräsning, 5-axlig bearbetning, schweiziska CNC- och svarv-fräsfunktioner stöder komponenter med snäva toleranser för etsning, deponering, litografi, jonimplantation, CMP och metrologiutrustning.
Halvledarutrustningsdelar lever i en annan värld än vanliga industridelar: de måste överlevakrav på vakuum, frätande processgaser, plasma, temperaturcykler och -partikelkontroll. Materialval är därför det första beslutet i ett halvledarbearbetningsprojekt. Vi bearbetar exakta betyg -316L VIM-VAR och 316L rostfritt, 6061-T6 och 7075-T6 aluminium, grad 5 titan, TZM molybden, OFHC koppar C10100, nickellegeringar och PEEK/PTFE teknisk plast- och applicera renrums-kompatibla ytbehandlingar där applikationen kräver dem. Delar tillverkas enligt specificerade dimensioner, toleranser, material och ytbehandlingskrav, med materialcertifikat tillgängliga på begäran.
Från enstaka prototyper för utveckling av nya verktyg till upprepade produktionskörningar för reservprocesssatser, vi bearbetar halvledarkomponenter till ritningen - oavsett kvantitet.
CNC-bearbetade delar för halvledartillämpningar
Ets & deponeringsutrustning
Kammarkroppar · kammarfoder · gasfördelningsplattor · elektrodenheter · fokusringar · klämringar · duschhuvudets monteringsdelar
Material:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Grad 5 titan
Vakuumsystem och gasleverans
Vakuumflänsar (CF/KF/ISO) · slussventilkomponenter · gasledningskopplingar · VCR-typ ansiktstätningar · grenrörsblock · pumpmonteringsdelar
Material:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Wafer Hantering & Transport
Robotarmar · ändeffektorer · waferklämmor · kantgrepp · kassettkomponenter · hiss- och gaffeldelar · kinematiska fästen
Material:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 berylliumkoppar · Grad 5 titan
Jonimplantation & Beamline delar
Strållinjekomponenter · elektroder · öppningar · dämpnings- och extraktionsdelar · hög-temperatursköldar
Material:TZM molybden · Tungsten W · Ta-2,5W tantal
RF & Plasma Power Components
RF-kontakter · genomföringshus · elektrodhållare · skärmande delar · kontaktfjädrar
Material:C10100 OFHC koppar · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Värmehantering & CMP
Kylplattor · chillerkomponenter · kylflänsar · CMP-huvuddelar · låsringar · plattkomponenter
Material:C10100 OFHC koppar · 6061-T6 · 316L
Metrologi & inspektionsutrustning
Optiska fästen · scenkomponenter · basplattor · inriktningsfixturer · kinematiska monteringsdelar
Material:6061-T6 · 7075-T6 · Grad 5 titan
Utrustning för våtbearbetning och rengöring
Tank- och badkomponenter · spolarmar · munstyckshållare · rull- och borstdelar · kemikaliebeständiga kopplingar-
Material:316L · Hastelloy C-276 · Grad 2 titan
Halvledar CNC-bearbetade delar som vi tillverkar
Vakuumkammare komponenter
Kammarkroppar, lock, foder och monteringsringar med kontrollerad planhet, tätningsytor och låga utgasningskrav.
Material:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Vakuumflänsar och beslag
CF (ConFlat), KF och ISO flänsar, nipplar, adaptrar och gasledningskopplingar för UHV-service.
Material:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Gasdistributionsplattor och munstycken
Precisionsborrade-fördelningsplattor, injektormunstycken och monteringsdetaljer för duschhuvudet.
Material:6061-T6 · Grad 5 titan · 316L
Wafer Clamps, Rings & Grips
Fokusringar, klämringar, kantgrepp och waferguider med snäv planhet och dimensionskontroll.
Material:6061-T6 · C17200 · Grad 5 titan
Robotarmar och sluteffektorer
Waferöverföringsarmar, gafflar och ändeffektorer med balanserad vikt, styvhet och partikelkontroll.
Material: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Pump och ventilkomponenter
Hus, rotorer, skovlar, ventiler, säten och spindeldelar för torra pumpar, slussventiler och mass-flödeskontroll.
Material:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Processsats och förbrukningsdelar
Utbytbara kitdelar designade för upprepade beställningar med konsekventa toleranser och renhet.
Material:6061-T6 · Grad 5 titan · 316L VIM-VAR
Kylplattor & kylflänsar
Vatten-kylda plattor, kylflänsar och kyldelar med planhet-kritiska ytor.
Material:C10100 OFHC koppar · 6061-T6 · 316L
RF- och kontaktkomponenter
RF-hus, kontaktdelar, kontaktfjädrar och EMI-skärmningskomponenter.
Material: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Har du en anpassad halvledardel? Skicka din CAD-fil
CNC-bearbetningsprocesser för halvledardelar
CNC-svarvning
Bäst för:Beslag · nipplar · ventilskaft · pumprotorer · munstycken
Idealisk för cylindriska komponenter med snäv koncentricitet.
CNC-fräsning
Bäst för:Kammarkroppar · bottenplattor · grenrör · konsoler
Lämplig för platta, prismatiska och flerfunktions-komponenter.
5-axlig CNC-bearbetning
Bäst för:Ändeffektorer · komplexa höljen · RF-komponenter
Bearbetar komplexa geometrier och sammansatta vinklar i en uppsättning.
CNC-svarv-fräsning
Bäst för:Gasledningsarmatur · kopplingsdelar med frästa funktioner
Kombinerar svarvning och fräsning för komplexa roterande detaljer.
Schweizisk CNC-bearbetning
Bäst för:Små beslag · sensorkomponenter · precisionsstift
Designad för små, smala och-precisionskomponenter med hög volym.
CNC-slipning & honing
Bäst för:Tätningsytor · lagersäten · precisionshål
Används för kritiska diametrar, passningar och spegelfinish (Ra 0,1–0,4 μm kan uppnås).
Halvledar CNC-bearbetningsmaterial
För halvledarkomponenter beror materialval påvakuumkompatibilitet, processkemi, plasmaresistens, temperatur, magnetism, partikelgenerering och termisk hantering. Vi bearbetar en rad metall- och tekniska plastmaterial för kammare, gassystem, waferhantering, RF och termiska delar.
| Material | Vanliga betyg | Typiska halvledarapplikationer | Viktiga fördelar |
|---|---|---|---|
| Aluminium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Kammarkroppar, bottenplattor, robotarmar, kylflänsar, konsoler | Lätt, anodiserbar, bra värmeledningsförmåga; 6061-T6 är arbetshästen för kammarhårdvara |
| Rostfritt stål | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vakuumflänsar, gasarmatur, ventildelar, hög-hårdvara | Korrosions- och temperaturbeständighet; 316L VIM-VAR är standarden för UHV låg-avgasningstjänst |
| Titan | Grad 2 (CP) · Grad 5 (Ti-6Al-4V) | Gasdistributionsdelar, processsatser, hårdvara för våtbearbetning | Plasma- och kemikaliebeständighet, hög hållfasthet-till-vikt, icke-magnetisk |
| Koppar | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berylliumkoppar | RF-delar, kylplattor, kontaktfjädrar, elektrisk hårdvara | Utmärkt elektrisk och termisk ledningsförmåga; OFHC idealisk för RF och värmehantering |
| Nickellegeringar | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Kemikalie-beständiga beslag, hög-temperaturdelar, metrologistrukturer | Kemisk och temperaturbeständighet; Invar 36 erbjuder nästan-noll termisk expansion |
Varför 316L VIM-VAR?För komponenter med ultra-hög-vakuum (UHV) bearbetar vi316L VIM-VAR- dubbel-smält rostfritt med mycket lågt gasinnehåll och inneslutningar. Den avgas mindre, svetsar mer förutsägbart och förblir ren vid vakuumservice. Om din ritning anger VIM-VAR eller elektropolerad 316L kan vi leverera materialet med full certifiering.
Materialval för vakuum- och renrumsmiljöer
Vakuumkompatibilitet och avgasning
Material inuti kammaren får inte avgas eller fånga upp partiklar. 316L VIM-VAR, 6061-T6 är vanliga val; porositet och ytfinish kontrolleras för att hålla utgasningen låg.
Kemikalie- och plasmaresistens
Halogen och fluorerade processgaser angriper många metaller. TZM molybden, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, Grad 5 titan är utvalda för korrosiv kemi och plasmaexponering.
Partikel- och kontamineringskontroll
Slitage, kanter och instängt skräp genererar partiklar som dödar skörden. Vi avgradar varje kant, kontrollerar ytjämnhet och rengör delar till renrumsstandarder innan förpackning.
Värmehantering
Värme påverkar processens enhetlighet. C10100 OFHC koppar och 6061-T6 används för att kyla plattor och kylflänsar; TZM och volfram hanterar högtemperaturstrålar och kammardelar.
Magnetiska och elektriska egenskaper
Vissa processer kräver icke-magnetiska material som 316L, Grade 5 titanium; RF och jordande hårdvara använder OFHC koppar C10100 och beryllium koppar C17200.
Precision & stabilitet
Delar för mätning och litografi behöver dimensionsstabilitet: 6061-T6 och 7075-T6 aluminium, grad 5 titan håller geometrin genom temperaturförändringar.
Halvledar CNC-bearbetningstoleranser och specifikationer
Halvledarkomponenter kräver ofta mikron-nivånoggrannhet på tätningsytor, monteringsdatum, wafer-kontaktytor och precisionshål, så verktyg monteras korrekt och processer förblir repeterbara.
| Specifikation | Typisk förmåga | Typiska halvledarapplikationer |
|---|---|---|
| Linjära mått | ±0,01 mm (precision till ±0,005 mm) | Kammardelar, bottenplattor, grenrör |
| Borrning & axeldiameter | ±0,005–0,01 mm | Pumprotorer, ventilskaft, precisionskopplingar |
| Flathet | Ned till 0,01 mm/100 mm | Tätningsytor, kylplattor, kinematiska fästen |
| Koncentricitet / Runout | Ned till 0,01 mm | Roterande pumpdelar, kopplingar |
| Sann position | ±0,01 mm | Bult-hålmönster, gasdistributionshål |
| Ytjämnhet | Ra 0,2–0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm på begäran | Tätningsytor, wafer-kontaktytor, kammarinteriörer |
| Kantavgradning | Kontrolleras per ritning (mikro-avgradning tillgänglig) | Alla partikelkritiska-delar |
| Trådtolerans | Enligt ISO/ASME krav | Beslag, flänsar, monteringsdetaljer |
Kritiska egenskaper vi kontrollerar
Tätning och O-ringspår- kontrollerat djup, bredd och ytfinish för vakuum- och vätsketätningar.
Wafer-kontaktytor- kontroll av planhet och grovhet för att undvika skador på skivor och partikelgenerering.
Precisionsborrningar och passningar- exakta hål för lager, axlar och presspassningskomponenter-.
Gasdistributionshål- exakt hålstorlek, position och gradning för jämnt gasflöde.
Datum och monteringsfunktioner- konsekventa datum för repeterbar montering och uppriktning.
Ytfinish för halvledar CNC-delar
Ytfinish är en del av förorenings- och korrosionsstrategin i halvledarutrustning. Rätt finish kontrollerar partiklar, avgasning, kemikalieresistens och elektriskt beteende.
| Ytfinish | Tillämpliga material | Typiska halvledardelar | Huvudfördel |
|---|---|---|---|
| Elektropolering | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vakuumflänsar, gasledningar, kammarfoder | Tar bort ytmaterial och inneslutningar; minskar utgasning och partikelfångning |
| Passivering | 316L · 304L · 17-4 PH | Beslag, fästelement, ventildelar | Tar bort fritt järn, förbättrar korrosionsbeständigheten |
| Typ II anodisering | 6061-T6 · 6063-T5 | Kammarkroppar, bottenplattor, konsoler | Isolerande,-korrosionsbeständigt lager; färgalternativ |
| Hård anodisering (Typ III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Slitytor, styrningar, robotdelar | Hårt, slitstarkt-skyddsskikt |
| Elektrolös nickelplätering | 6061-T6 · 7075-T6 · Stål | Kammarhårdvara, processkitdelar | Jämnt slitage och korrosionsskydd |
| Guldplätering | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF-kontakter, kontaktdelar | Lågt kontaktmotstånd, korrosionsskydd |
| Tennplätering | C10100 · C11000 | Elektriska ledare, samlingsskenor | Lödbarhet och korrosionsskydd |
| Pärlblästring | 6061-T6 · 316L · Stål | Hus, lock, icke-kritiska ytor | Enhetlig matt finish (kontrollerad för partikelfrigöring) |
| Renrumsstädning | Allt material | Alla delar före förpackning | Fler-ultraljudsrengöring, ingen olja, inga rester, partikel-kontrollerad |
Halvledare CNC-bearbetning kvalitetskontroll
Vi inspekterar kritiska dimensioner, passningar, planhet, runout och ytkrav under hela produktionen för att säkerställa att CNC-bearbetade halvledardelar uppfyller ritningen. För projekt som kräver dokumenterad kvalitet kan vi leverera materialcertifikat, måttrapporter och renhetsdokumentation som stöd för din inkommande besiktning.
Materialverifiering
Materialverifiering
Dimensionell inspektion
GD&T-inspektion
Trådinspektion
Inspektion av ytfinish
Slutbesiktning
Förpackningsinspektion
| Besiktningsobjekt | Utrustning / Metod | Typiska halvledardelar |
|---|---|---|
| Dimensionell inspektion | CMM · Bromsok · Mikrometer | Övergripande delmått |
| Borrning & axeldiameter | Borrmätare · Stiftmätare · CMM | Pumprotorer, ventilskaft, beslag |
| Flathet & Parallellism | Ytplatta · CMM | Tätningsytor, kylplattor |
| Sann position | CMM | Hålmönster, gasfördelningsplåtar |
| Ytjämnhet | Grovhetstestare | Tätningsytor, wafer-kontaktytor |
| Trådinspektion | Go/No-Go trådmätare | Beslag och fästelement |
| Materialverifiering | Spektrometer + materialcertifikat | Inkommande råmaterial (EN 10204 3.1 tillgängligt; VIM-VAR-certifiering på begäran) |
| Renlighetskontroll | Visuell + partikelkontroll på begäran | Renrum-levererade delar |
| Slutbesiktning | CMM + Besiktningsrapport | Slutlig dimensionell acceptans |
Behöver du dokumenterad kvalitetskontroll?Skicka oss dina ritningar och besiktningskrav.
Prototyp och låg-volym CNC-bearbetning för halvledare
Halvledarprojekt börjar ofta med prototyper - nya verktygsdesigner, utveckling av processkit, uppgraderingsdelar eller ersättningskomponenter som måste valideras innan produktion. Vi stödjerprototyp och lågvolyms-CNC-bearbetningfrån initiala prover till upprepade små-batchordrar.
Prototypbearbetning
För utveckling av nya verktyg, processvalidering och designförändringar.
Typisk kvantitet:1–10 st
Låg-volymproduktion
För pilotsystem, verktygsuppgraderingar och initiala produktionskörningar.
Typisk kvantitet:10–1,000+ st
Upprepa produktion
För reservprocesssatser och återkommande beställningar med etablerade design.
Typisk kvantitet:Baserat på projektkrav
Lämplig för
Vakuumkammare och gastillförselhårdvara
Waferhantering och fastspänningskomponenter
Ets-, deponerings- och jonimplantationsdelar
RF, elektriska och termiska ledningsdelar
Mätteknik och inspektionsfixturer
Reservdelar och processsatser för befintliga verktyg
Förpackning och ledtid för CNC-halvledardelar
Förpackning
Individuellt skydd:PE-påsar, skum eller skyddsfilm för bearbetade ytor
Renrumsförpackning:Rengjorda delar dubbel-förpackade i rena påsar (kväve-rengöringsalternativ tillgängligt)
Små delar:Uppdelade kartonger för att förhindra repor och del{0}}till-kontakt
Precisionsdelar:Skuminsatser och separata fack för kritiska komponenter
Anpassad förpackning:Artikelnummer, etiketter, kvantiteter och kundspecifika-förpackningskrav
Typisk ledtid
| Beställningstyp | Typisk ledtid |
|---|---|
| Prototyp | 5–10 arbetsdagar |
| Låg-volymordning | 10–20 arbetsdagar |
| Produktionsorder | 15–30 arbetsdagar |
| Upprepa beställning | 10–25 arbetsdagar |
FAQ
F: Vilka CNC-bearbetade halvledardelar kan du tillverka?
S: Vi tillverkar skräddarsydda vakuumkammarekomponenter, flänsar och gasledningskopplingar, gasdistributionsplattor, waferklämmor och ringar, robotarmsdelar, pump- och ventilkomponenter, jonimplanterares strållinjedelar, RF-komponenter, kylplattor, kylflänsar och processkitdelar för halvledarutrustning.
F: Vilka CNC-bearbetningstoleranser kan du uppnå?
S: Vår standard CNC-tolerans är vanligtvis ±0,05 mm, med precisionsbearbetning ner till ±0,02 mm och valda kritiska egenskaper till ±0,005–0,01 mm, beroende på geometri, material och ritningskrav.
F: Kan du leverera 316L VIM-VAR för vakuumkomponenter?
A: Ja. För ultra-hög-vakuumservice kan vi bearbeta 316L VIM-VAR (vacuum induction melted and vacuum arc remelted) med låg gashalt, levererad med materialcertifiering. Elektropolering är tillgänglig för minskad avgasning och partikelfångning.
F: Erbjuder ni renrumskompatibel-rengöring och förpackning?
A: Ja. Delar kan ultraljudsrengöras i flera-steg, torkas och dubbla-påsar i rena påsar (kvävespolning tillval) för att hålla ytorna partikelfria- för leverans i renrum.
F: Kan du tillhandahålla materialcertifikat och inspektionsrapporter?
A: Ja. Beroende på projektkrav kan vi tillhandahålla materialcertifikat (EN 10204 3.1, inklusive VIM-VAR-certifiering), dimensionsinspektionsrapporter, CMM-rapporter och ytfinishregistrering.
F: Kan du bearbeta icke-magnetiska komponenter?
A: Ja. Vi bearbetar icke-magnetiska kvaliteter inklusive 316L rostfritt, Grade 5 titanium, aluminium 6061-T6 och PEEK för applikationer där magnetism måste undvikas.
F: Vilken ytfinish applicerar du på halvledardelar?
S: Beroende på material och applikation erbjuder vi elektropolering, passivering, typ II och typ III hårdanodisering, strömlös nickelplätering, guld- och tennplätering, pärlblästring och renrumsrengöring.
F: Accepterar du 2D-ritningar och CAD-filer?
S: Vi kan arbeta från vanliga STEP-, STP-, IGES-, IGS-, SolidWorks-, DXF- och 2D-ritningsfiler.
F: Stöder du prototyper och produktion i låg-volym?
A: Ja. Vi stöder prototypkvantiteter från 1–10 stycken, låg-volymproduktion från 10–1,000+ stycken, såväl som upprepade produktionsorder för processsatser och reservdelar.
F: Vad är den typiska ledtiden för CNC-halvledardelar?
S: Typiska ledtider är 5–10 arbetsdagar för prototyper, 10–20 arbetsdagar för beställningar med liten-volym och 15–30 arbetsdagar för produktionsorder, beroende på delens komplexitet, kvantitet, material och efterbehandling.
Populära Taggar: halvledare cnc bearbetade delar, Kina halvledare cnc bearbetade delar tillverkare, leverantörer, fabrik, titan
Ett par
NejDu kanske också gillar
Skicka förfrågan